溅射离子泵是三井真空的优势产品。三井100%原创技术，不仿造。产品已形成系列化，各项性能指标达到国际先进水平，国内市场占有率领先，并出口到国外。三井真空离子泵广泛应用于各种超高真空的科研装置和工业设备，涉及的行业有加速器、同步辐射光源、大功率激光研究、表面物理、材料科学、空间模拟、电子显微镜、质谱仪、真空校准、真空冶炼、真空镀膜、半导体应用设备、真空电子器件等行业。

离子泵工作原理

离子泵内的气体分子在电磁场中高效电离，离子在高压作用下轰击阴极钛板，溅射出新鲜钛材，沉积在阳极筒壁上。活性气体如氮、氧、一氧化碳、二氧化碳等和新鲜钛原子反应，生成稳定的化合物。氢气轰击阴极不能引发溅射，而是钻入阴极内部，形成固溶体抽除。吸附在阳极壁上的惰性气体则被沉积的钛材淹埋抽除。离子泵不是将气体排出真空系统，而是将气体封存于泵内。

离子泵型号规格与技术参数

离子泵压强与抽速曲线

除标准规格外，三井也可根据客户需要设计特殊结构的离子泵

三井离子泵性能特点

●　离子泵无运动机构，是真正的无油、无震动、无噪音的洁净真空泵；

●　极低的极限压强（可达3x10-9Pa），主要作为超高和极高真空系统的主泵（为获得更好的 真空，可以选择和吸气剂泵配合使用）。如有需要，也可为客户定制极限真空达10-10Pa离子泵；

●　宽阔平坦的抽速曲线（压强范围10-9~10-3Pa；1×10-7Pa时抽速约为标称抽速的70%）；

●　离子流和压强成正比，可用于真空测量；

●　寿命和压强成反比，超高真空抽气时寿命极长，如1x10-3Pa时寿命为5,000小时，1x10-7Pa 时寿命是前者的104倍。若阴极耗完，更换即可；

●　二极离子泵对氩气抽速仅为氮气的1.5%，不适于抽除惰性气体，但可用于检漏；

●　三极式离子泵对氩气抽速可达氮气的20%，可以有效抽除惰性气体；

●　只需市电就能正常工作，突然停电不损坏设备，不破坏真空，无需值班运行；

●　抽气时耗电极少，无需水冷，运行经济；

●　智能化电源带有计算机接口，便于自动连锁保护，电源故障率低；

●　自带烘烤装置，烘烤方便；

●　可以保持真空状态运输和储存；

●　维修简单方便，费用低。

三井优势